在電力電子領(lǐng)域，絕緣柵雙極型晶體管（IGBT）模塊已成為現(xiàn)代能源轉(zhuǎn)換與電機(jī)控制的核心部件。其可靠性直接關(guān)系到新能源汽車、光伏逆變器、工業(yè)變頻器等關(guān)鍵設(shè)備的運(yùn)行安全與壽命。而IGBT模塊內(nèi)部芯片與端子之間的電氣連接，廣泛采用超聲鍵合的鋁線或鋁帶。這些微小的鍵合點(diǎn)堪稱模塊的“生命線"，其連接強(qiáng)度至關(guān)重要。
鍵合點(diǎn)一旦因振動(dòng)、熱疲勞或工藝缺陷而失效，將導(dǎo)致模塊功能喪失，甚至引發(fā)整個(gè)系統(tǒng)的故障。因此，鍵合拉力測(cè)試（Bond Pull Test）是IGBT制造與可靠性評(píng)估中重要的環(huán)節(jié)。它能精確量化鍵合線的機(jī)械強(qiáng)度，是評(píng)判鍵合工藝質(zhì)量、進(jìn)行失效分析以及確保產(chǎn)品長(zhǎng)期可靠性的黃金標(biāo)準(zhǔn)。
本文科準(zhǔn)測(cè)控小編將深入淺出地介紹IGBT鋁線拉力測(cè)試的基本原理、遵循的國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)、所需的專業(yè)儀器以及詳細(xì)的測(cè)試流程，助力各位工程師和質(zhì)量控制人員更好地理解和應(yīng)用這一關(guān)鍵檢測(cè)技術(shù)。
一、 測(cè)試原理
鍵合拉力測(cè)試的原理直觀而有效：使用精密的鉤狀探針（拉力鉤），從特定方向?qū)︽I合線施加一個(gè)持續(xù)增大的垂直拉力（或與芯片表面成規(guī)定角度的力），直到鍵合線被拉斷或從鍵合點(diǎn)（芯片上的球鍵合點(diǎn)或端子上的楔鍵合點(diǎn)）脫離。
通過測(cè)量發(fā)生失效時(shí)的最大拉力值（單位為克力，gf或牛頓，N），即可獲得該鍵合點(diǎn)的斷裂強(qiáng)度。通過統(tǒng)計(jì)分析大量測(cè)試數(shù)據(jù)，可以評(píng)估鍵合工藝的穩(wěn)定性和一致性。失效模式（斷裂位置）的分析同樣重要，通常分為：
頸縮斷裂在焊線中間：理想的失效模式，表明鍵合點(diǎn)強(qiáng)度高于線材本身強(qiáng)度。
從芯片焊盤抬起（Lift Off）：表明芯片表面的鍵合界面是薄弱環(huán)節(jié)。
從端子焊盤抬起：表明端子表面的鍵合界面是薄弱環(huán)節(jié)。
焊盤 cratering（ crater裂紋）：最不希望看到的失效模式，指鍵合點(diǎn)被拉起時(shí)損傷了芯片下方的硅材料，這表明拉力過強(qiáng)或工藝存在嚴(yán)重問題。
二、 測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)
MIL-STD-883 Method 2011.9： 《微電子器件試驗(yàn)方法和程序》中的“鍵合強(qiáng)度"方法
ASTM F1269： 《半導(dǎo)體引線鍵合剪切和拉力試驗(yàn)方法指南》
JEDEC JESD22-B116： 《鍵合拉力測(cè)試》
對(duì)于IGBT鋁線鍵合，通常會(huì)參考MIL-STD-883的標(biāo)準(zhǔn)，其最小拉力要求參考如下（常見線徑）：
三、 測(cè)試儀器
1、Alpha W260 推拉力測(cè)試機(jī)
設(shè)備特點(diǎn)：
高精度力傳感器： 可精確測(cè)量毫牛（mN）或克力（gf）級(jí)別的微小力。
高分辨率運(yùn)動(dòng)控制： 采用精密的步進(jìn)電機(jī)或伺服電機(jī)，確保拉力鉤能以平穩(wěn)、可控的速度移動(dòng)。
一體化顯微鏡與攝像頭： 內(nèi)置高倍率光學(xué)系統(tǒng)，方便操作者精確定位拉力鉤和觀察鍵合線。
專用測(cè)試軟件： 用于設(shè)置測(cè)試參數(shù)（如拉力速度、高度、目標(biāo)拉力值）、控制測(cè)試過程、自動(dòng)記錄數(shù)據(jù)（峰值拉力值）、生成統(tǒng)計(jì)報(bào)告和存儲(chǔ)失效圖像。
多種測(cè)試工具： 配備一系列不同尺寸和形狀的拉力鉤，以適應(yīng)不同線徑和鍵合線弧度的測(cè)試需求。
2、工裝夾具
四、 測(cè)試流程（以Alpha W260為例）
步驟一、準(zhǔn)備工作
樣品固定： 將待測(cè)的IGBT模塊牢固地安裝在測(cè)試機(jī)的夾具平臺(tái)上，確保無(wú)松動(dòng)。
設(shè)備開機(jī)： 開啟Alpha W260測(cè)試機(jī)及電腦軟件，預(yù)熱設(shè)備。
選擇與安裝拉力鉤： 根據(jù)待測(cè)鋁線的直徑和弧度，選擇合適的拉力鉤（通常鉤子頂端半徑應(yīng)為線徑的2-3倍），并將其安裝到傳感器的夾頭上。
校準(zhǔn)（定期進(jìn)行）： 使用標(biāo)準(zhǔn)砝碼對(duì)力傳感器進(jìn)行校準(zhǔn)，確保測(cè)量精度。
步驟二、測(cè)試設(shè)置
在軟件中創(chuàng)建新測(cè)試程序或選擇已有程序。
步驟三、設(shè)置關(guān)鍵參數(shù)
測(cè)試類型： 選擇“拉力測(cè)試"。
測(cè)試速度： 通常設(shè)置為0.1 - 1.0 mm/s（需參考相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)或內(nèi)部規(guī)范）。
安全高度： 設(shè)置拉力鉤下降和移動(dòng)的安全Z軸高度，避免碰撞樣品。
目標(biāo)拉力： 可設(shè)置一個(gè)遠(yuǎn)高于預(yù)期值的拉力作為安全上限，防止意外。
步驟四、定位與測(cè)試
顯微鏡觀察： 通過軟件控制平臺(tái)移動(dòng)，在攝像頭視野中找到待測(cè)的鍵合線。
鉤子定位： 操縱手柄或軟件，將拉力鉤小心地移動(dòng)到鍵合線弧度的最高點(diǎn)下方。確保鉤子與線垂直，且不與芯片或端子發(fā)生接觸。
執(zhí)行測(cè)試： 點(diǎn)擊軟件中的“開始"按鈕。設(shè)備將自動(dòng)控制拉力鉤以設(shè)定速度垂直向上運(yùn)動(dòng)，對(duì)鍵合線施加拉力。
自動(dòng)記錄： 傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)拉力值，軟件會(huì)捕捉并記錄下拉斷瞬間的最大峰值力。
步驟五、結(jié)果分析與報(bào)告
失效模式觀察： 測(cè)試完成后，通過顯微鏡觀察失效位置，判斷是線斷、界面抬起還是Crater，并在軟件中記錄該失效模式。
數(shù)據(jù)記錄： 軟件自動(dòng)將本次測(cè)試的拉力值和失效模式保存到數(shù)據(jù)表中。
重復(fù)測(cè)試： 移動(dòng)平臺(tái)和拉力鉤，對(duì)下一個(gè)鍵合點(diǎn)重復(fù)步驟3-4，直到完成規(guī)定數(shù)量的樣本測(cè)試（通常一個(gè)芯片上需測(cè)試多個(gè)點(diǎn)）。
生成報(bào)告： 測(cè)試結(jié)束后，軟件可自動(dòng)生成統(tǒng)計(jì)報(bào)告，包括：樣本數(shù)量、平均值、標(biāo)準(zhǔn)差、最小值、最大值、CPK值以及失效模式分布等，并可導(dǎo)出為Excel或PDF格式。
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