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微電子封裝中金絲鍵合的可靠性評估—推拉力測試機的關(guān)鍵作用

 更新時間:2025-04-30 點擊量:828

金絲鍵合技術(shù)作為微電子封裝領(lǐng)域的關(guān)鍵互連技術(shù),廣泛應(yīng)用于集成電路芯片與基板、基板與殼體間的電氣連接。根據(jù)鍵合方法的不同,主要分為楔形鍵合和球型鍵合兩種形式:球焊鍵合具有方向靈活、可靠性高的特點;楔焊鍵合則能實現(xiàn)最小拱弧且單個焊點占用面積小。在復(fù)雜電子系統(tǒng)中,一個模塊可能包含大量金絲互連,任何一根金絲的失效都可能導(dǎo)致整個模塊甚至系統(tǒng)故障,因此金絲鍵合質(zhì)量的嚴格控制至關(guān)重要。

金絲鍵合失效模式主要包括:線弧過長引起的塌陷短路、線弧過緊導(dǎo)致的頸縮點斷裂、參數(shù)過大引起的焊點過度變形斷裂,以及參數(shù)過小導(dǎo)致的焊點結(jié)合不牢等問題。這些失效模式往往與鍵合工藝參數(shù)設(shè)置不當直接相關(guān)。在實際生產(chǎn)中,超聲功率、鍵合壓力和鍵合時間等參數(shù)對金絲鍵合質(zhì)量具有決定性影響。

針對上述問題,本文科準測控小編將介紹如何選用25μm高純度金絲,采用科學(xué)正交試驗方法,系統(tǒng)研究不同工藝參數(shù)對鍵合質(zhì)量的影響規(guī)律,以金絲抗拉強度和焊點形貌作為評價指標,確定zui尤工藝參數(shù)范圍,為實際生產(chǎn)提供理論指導(dǎo)和技術(shù)支持。

 

一、金絲鍵合原理與標準

1鍵合機理

金絲鍵合是通過熱、壓力和超聲能量的共同作用,在金屬表面形成原子擴散連接的過程。當金絲在壓力和超聲振動作用下與焊盤接觸時,接觸面的氧化層被破壞,新鮮金屬表面暴露并發(fā)生塑性變形,在原子間作用力下形成冶金結(jié)合。這一過程主要包括以下三個階段:

物理接觸階段:金絲在壓力作用下與焊盤表面接觸,接觸面積隨壓力增加而增大;

激活階段:超聲振動產(chǎn)生摩擦,破壞接觸面氧化層,促進金屬間擴散;

擴散鍵合階段:清潔金屬表面在高溫和壓力作用下形成原子級結(jié)合。

2、評價標準

本研究依據(jù)GJB548B-2005《微電子器件試驗方法和程序》標準,對金絲鍵合質(zhì)量進行評估。標準規(guī)定金絲鍵合的抗拉強度應(yīng)不低于3gf(約29.4mN)。此外,斷裂位置也是評價鍵合質(zhì)量的重要指標:

理想斷裂:頸縮點斷裂,表明焊點結(jié)合強度高于金絲本身強度;

不良斷裂:焊點脫落,表明鍵合界面結(jié)合不牢固;

金絲中部斷裂:通常由機械損傷或材料缺陷引起。

 

二、試驗設(shè)備與方法

1、實驗設(shè)備

Beta S100推拉力測試機

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本研究采用Beta S100推拉力測試機進行金絲抗拉強度測試,該設(shè)備具有高精度力傳感器(分辨率0.1gf)和精確定位系統(tǒng),可準確測量金絲斷裂強度并記錄斷裂位置。鍵合過程使用自動金絲鍵合機完成,設(shè)備配備高精度超聲發(fā)生系統(tǒng)和壓力控制系統(tǒng)。

2、實驗材料

金絲材料:純度99.99%25μm金絲

鍵合基板:鍍金2μm的介質(zhì)基板

芯片焊盤:尺寸100μm×160μm的鋁焊盤,鋁膜厚600nm

3、推刀或鉤針

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4、常用工裝夾具

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三、試驗方案

采用正交試驗設(shè)計方法,研究楔焊和球焊鍵合中不同工藝參數(shù)的影響:

1 楔焊鍵合試驗設(shè)計

因素水平:

超聲功率:16-18W3水平)

鍵合壓力:14-16g3水平)

鍵合時間:60-100ms3水平)

評價指標:抗拉強度、斷裂位置、焊點形貌

2、球焊鍵合試驗設(shè)計

因素水平:

超聲功率:30-35μIn3水平)

鍵合壓力:25-33g3水平)

鍵合時間:30-35ms3水平)

評價指標:抗拉強度、斷裂位置、焊點形貌

每組試驗條件制備9個樣品,每個樣品測試5根金絲,取平均值作為該條件下的抗拉強度值。

3、實驗結(jié)果與分析

1楔焊鍵合結(jié)果

a、第一焊點測試結(jié)果

9組試驗的抗拉強度范圍為8.85-10.41gf,均顯著高于標準要求的3gf。斷裂位置均出現(xiàn)在頸縮點處,表明焊點結(jié)合質(zhì)量良好。正交分析表明:

影響因素排序:形變量 > 超聲功率 > 鍵合時間

zui參數(shù):鍵合時間60ms,形變量40%,鍵合壓力20g

b、第二焊點測試結(jié)果

抗拉強度范圍為7.98-9.79gf,斷裂同樣發(fā)生在頸縮點處。正交分析顯示:

影響因素排序:形變量 > 超聲功率 > 鍵合壓力

zui參數(shù):鍵合時間120ms,形變量40%,鍵合壓力22g

2球焊鍵合結(jié)果

a、第一焊點測試結(jié)果

抗拉強度范圍為5.47-6.81gf,部分樣品出現(xiàn)第二焊點脫焊現(xiàn)象。正交分析表明:

影響因素排序:鍵合壓力 > 超聲功率 > 鍵合時間

zui參數(shù):超聲功率31μIn,鍵合壓力32g,鍵合時間39ms

b、補球加固后結(jié)果

抗拉強度顯著提高至11.11-12.28gf,斷裂位置均為頸縮點。正交分析顯示:

影響因素排序:鍵合時間 > 超聲功率 > 鍵合壓力

zui補球參數(shù):超聲功率34μIn,鍵合壓力38g,鍵合時間29ms

4zui工藝參數(shù)驗證

采用確定的zui工藝參數(shù)進行批量驗證,隨機抽取10根金絲測試結(jié)果顯示抗拉強度范圍為9.07-12.21gf,全部滿足標準要求且斷裂位置理想。鍵合一次成功率達到了100%,焊點形貌規(guī)整,無明顯的變形或損傷。

5、 結(jié)論

通過工藝參數(shù)優(yōu)化,金絲鍵合抗拉強度顯著高于標準要求,且斷裂位置理想,一次鍵合成功率可達100%,滿足批量生產(chǎn)質(zhì)量要求。

 

以上就是小編介紹的有關(guān)金絲鍵合可靠性分析相關(guān)內(nèi)容了,希望可以給大家?guī)韼椭?!如果您還想了解更多關(guān)于鍵合絲拉力測試、金絲鍵合拉力標準、鍵合拉力測試儀和金絲鍵合拉力標準,推拉力測試機怎么使用視頻和圖解,使用步驟及注意事項、作業(yè)指導(dǎo)書,原理、怎么校準和使用方法視頻,推拉力測試儀操作規(guī)范、使用方法和測試視頻 ,焊接強度測試儀使用方法和鍵合拉力測試儀等問題,歡迎您關(guān)注我們,也可以給我們私信和留言,【科準測控】小編將持續(xù)為大家分享推拉力測試機在鋰電池電阻、晶圓、硅晶片、IC半導(dǎo)體、BGA元件焊點、ALMP封裝、微電子封裝、LED封裝、TO封裝等領(lǐng)域應(yīng)用中可能遇到的問題及解決方案。

 


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